‘에칭가스’라고도 불리는 불화수소가스는 반도체 회로를 원하는 모양대로 깎아내는 핵심소재다. 일본의 대(對)한국 수출규제 조치 1년 만에 국내업체가 일본산 대체가 가장 어려울 것으로 여겨졌던 초고순도 불화수소 양산에 돌입했다.
3대 핵심 품목 ‘탈일본’ 성과SK그룹의 반도체 소재 생산 기업인 SK머티리얼즈가 규제 1년 만에 일본산 대체가 가장 어려울 것으로 여겨졌던 초고순도 불화수소 양산에 돌입했고, 포토레지스트와 플루오린폴리이미드 등 다른 두 가지 수출규제 대상 소재도 국내 생산이 본격화되고 있다. 일본의 수출규제가 오히려 한국의 반도체 소재 자립을 앞당긴 셈이다.
‘에칭가스’라고도 불리는 불화수소가스는 반도체 회로를 원하는 모양대로 깎아내는 핵심소재다. 반도체 공정 미세화로 수요가 급증하고 있지만 해외 의존도가 100%에 달했고, 특히 초고순도 제품의 경우 스텔라케미파, 모리타화학 등 일본산에 거의 전적으로 의존해왔다. SK머티리얼즈는 지난해 말 초고순도 불화수소가스 시제품 개발에 성공하고 경북 영주공장에 15t 규모 생산시설을 짓는 등 국산화 작업을 진행해왔다. 2023년까지 국산화율을 70%로 끌어올리는 게 목표다. 삼성디스플레이와 LG디스플레이 등 디스플레이업계는 일본산 불화수소액을 100% 국내 기업 제품으로 대체했고, 삼성전자와 SK하이닉스는 불화수소액은 국산 대체로, 불화수소가스는 수입다변화로 대응했다. 한국 반도체업계가 일본산 소재 수입을 줄이면서 불화수소 세계 1위 업체인 일본 스텔라케미파의 지난해 영업이익은 전년보다 31% 감소했다.