반입 가능 장비 목록 업데이트…최첨단 EUV 장비 통제는 유지
지나 러몬도 미국 상무부 장관이 지난 6월 26일 백악관에서 열린 초고속 인터넷 인프라에 관한 행사에서 연설하고 있다. 중국은 미국 상무부의 외국인 투자 규제로 수많은 중국 기업들이 타격을 받았음에도, 러몬도 장관의 중국 방문을 환영한다고 17일 밝혔다. 2023.08.17. ⓒ뉴시스, AP16일 업계에 따르면, 미국 상무부 산업안보국은 삼성전자와 SK하이닉스의 중국 공장에 대한 ‘검증된 최종 사용자’ 규정을 개정한다고 지난 13일 관보에 고지했다.
이번 개정을 통해 삼성전자와 SK하이닉스의 중국 공장에 반입할 수 있는 반도체 장비 목록이 업데이트됐다. 규정에는 삼성전자의 중국 시안 낸드 공장과 SK하이닉스의 중국 우시 D램 공장은 지난해 10월 발표한 반도체 장비 수출 규제에서 예외라고 명시됐다.다만 이번 개정 이후에도 첨단 반도체 양산에 필요한 극자외선 노광장비 등 일부 품목은 여전히 반입이 통제된다. 앞서 미국은 지난해 10월 중국 내 반도체 장비 반입을 제한하면서, 삼성전자와 SK하이닉스 등 다국적기업에 1년 유예를 적용했다. 당시 ▲18나노미터 이하 D램 ▲128단 이상 낸드 ▲14㎚ 이하 비메모리칩 생산이 가능한 장비가 규제 대상에 올랐다.
한편, 지난해 한국 기업과 함께 유예 대상에 오른 대만 파운드리 기업 TSMC의 중국 공장도 유예를 연장받은 것으로 알려졌다. 로이터통신에 따르면, 왕메이화 대만 경제부장은 지난 13일 미국 정부가 TSMC에 대한 유예 연장을 승인했다고 밝혔다. TSMC는 “미국 산업보안국으로부터 VEU 지정을 신청하라는 조언을 받았다”고 전했다.
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